中国日报7月15日沈阳电（记者 张小敏 郑伊然 吴勇）7月15日，记者随 “走向我们的小康生活”采访团走进沈阳芯源微电子设备股份有限公司，采访公司利用科技进步、引领转型升级实现高质量发展情况。据董事长宗润福介绍，该公司产品已实现批量销售，目前已累计销售800余台套，作为主力机型成功打入多家国内知名一线大厂。

芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，公司主要产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备。公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断，填补国内空白。2019年12月16日，公司在上交所科创板上市，成为辽宁省科创板第一股，市值百亿元。

创立以来，芯源微高度重视新技术、新产品和新工艺的研发工作。近几年，公司研发费用投入一直处在较高水平，2019年研发投入占营业收入总比重达16.45%。

据介绍，辽沈装备基地的产业基础、配套能力和装备人才是芯源微发展壮大的土壤。作为沈阳IC装备联盟的发起者和创立者，芯源微联合沈阳优势企业，共同促进产业协同发展，形成了半导体装备产业的群聚效应，促进地方经济转型升级。

（张小敏 郑伊然 吴勇）